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  • 國家戰略性新興產業發展專項資金計劃

    “年產1萬個高線代平板顯示器及先進封裝用靶材產業化”項目,列入國家戰略性新興產業發展專項資金計劃。

    更多 2020-03-10

  • 國家電子信息產業發展基金項目

    “超大規模集成電路PVD工藝制造用鋁和鉭濺射靶材的產業化”項目,列入國家工信部電子信息產業發展基金項目。 

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  • 十一五國家02科技重大專項

    “300mm極大規模集成電路用Al、Ti、Ta 靶材制造技術研究與開發”項目,列入十一五國家科技部極大規模集成電路配套設備與工藝重大專項(02重大專項..

    更多 2020-03-10

  • 國家高技術研究發展計劃(863計劃)

    國家高技術研究發展計劃(863計劃)引導項目“超大規模集成電路制造用鋁和鉭濺射靶材產業化關鍵材料技術研究”項目,列入國家高技術研究發展計劃(863計劃)引導項目..

    更多 2020-03-10

  • 十二五國家02科技重大專項

    “45-28nm配線用超高純系列濺射靶材的開發與產業化”項目,列入國家科技部極大規模集成電路配套設備與工藝重大專項(02重大專項)。

    更多 2015-02-05

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